高精度同轴干涉位监测系统
coaxial Coherent Displacement Monitor
CDM高精度同轴干涉位监测系统
- 高精度
- 同轴测量
- 干涉测量
参数列表
| 参数 | 数值 |
|---|---|
测量范围 | 2.5mm |
线性精度 | +/-5um |
分辨率 | 1um |
测量周期 | <300ms |
光斑直径（以254mm场镜为例） | 120-150um |
横向分辨率（以254mm场镜为例） | 70-90um |
| 参数 | 数值 |
|---|---|
测量范围 | 2.5mm |
线性精度 | +/-5um |
分辨率 | 1um |
测量周期 | <300ms |
光斑直径（以254mm场镜为例） | 120-150um |
横向分辨率（以254mm场镜为例） | 70-90um |