高精度同轴干涉位监测系统

coaxial Coherent Displacement Monitor

CDM系统

采用光学

相干技术

,实现

同轴、非接触、高速

的位移测量,准确测量焊前

焦点

位置。

Coherent Displacement Monitoring

CDM高精度同轴干涉位监测系统

  • 高精度
  • 同轴测量
  • 干涉测量

CDM参数列表

参数数值
测量范围2.5mm
线性精度+/-5um
分辨率1um
测量角度+/-1.25°
测量周期<300ms
光斑直径(以254mm场镜为例)120-150um
横向分辨率(以254mm场镜为例)70-90um