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高精度同轴干涉位监测系统
coaxial Coherent Displacement Monitor
CDM系统
采用光学
相干技术
,实现
同轴、非接触、高速
的位移测量,准确测量焊前
焦点
位置。
CDM高精度同轴干涉位监测系统
高精度
同轴测量
干涉测量
CDM参数列表
参数
数值
测量范围
2.5mm
线性精度
+/-5um
分辨率
1um
测量角度
+/-1.25°
测量周期
<300ms
光斑直径(以254mm场镜为例)
120-150um
横向分辨率(以254mm场镜为例)
70-90um